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多个产品同时测量减少成本测量对象可任意摆放，多个产品可同时测量，**节省测量时间，减少用工成本！低畸变图像无变形即便在镜头边缘部位测量，图像畸变也很小，无需担心测量对象所放位置。缺陷过滤测量位置包含有毛边或缺陷时系统能自动识别，排除异常点提高测量的准确度。数据追溯管理更简单测量结果自动保存，可按测量日期、产品名称、产品料号等信息搜索，数据追溯管理简单优势：测量更准确采用双倍率双侧远心光学镜头，具有较高的远心度，即使有段差情况下也能高精度正确的测量。倍率涵盖0.16X大视野/0.7X高精度。

什么是静态噪声？静态噪声(StaticNoise,简称SN)，位于测量范围中心、完全静态的样品测得的噪声级别的RMS。我们的参数表给出了两个SN值：一个没有时间平均值，另一个时间平均值为10。这是比较大可接受值。校准后立即测量每个传感器的SN，并在校准证书中指定。该参数决定了传感器的轴向分辨率。什么是测量精度？测量精度，是将传感器测量的距离与1纳米精度的编码器确定的样本位置进行比较时观察到的比较大误差。校准后，此参数立即如下条件下测量：优化率，倾斜角度=0°，时间平均=测量频率/10，采样步数至少为100。对于“自适应LED”模式的传感器，此模式已启用。精度对于传感器和校准台的短期重复来说是个良好指标。表中的数值为比较大可接受值：每个传感器的准确度在校准后立即测量，并在校准证书中指示。测量精度，是将传感器测量的距离与1纳米精度的编码器确定的样本位置进行比较时观察到的比较大误差。适用于在线应用高灵敏度和高精度可提供卡钳结构或测量设备可结合马波斯Quick-SPC软件进行数据处理。

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非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量?直线电机高精度龙门运动机构?兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量?共面气浮移动轴承确保样品的移动获得较高的平面度及平顺性?兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)?晶圆的测量厚度范围为10um-20mm?抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架?比较大扫描速度1m/s?可自定义生成快速便捷的自动化测量模式?直观简单的2D或3D数据呈现方式?适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准上海光谱共焦传感器测量范围